Ανοξείδωτος χάλυβα ημιαγωγών: 316L VIM-VAR VS . 904 l

 

Γιατί το κενό τήγμα 316L για εργαλεία πλακιδίων;
Το VIM-VAR (Επαγωγή κενού Επαγωγή μειωμένο τόξο) μειώνει τα εγκλείσματα<5 particles/cm² >0 . 3μm. Περιεκτικότητα σε φυσικό αέριο (o₂<30ppm, N₂ <150ppm) prevents micro-outgassing in vacuum chambers. Surface roughness Ra ≤0.05μm achievable.

 

Πότε καθορίζεται 904L για υγρούς πάγκους;
904L resists HF/HNO₃ acid mixtures during wafer etching. Copper addition (1-2%) improves sulfuric acid resistance. PREN >35 αποτρέπει τη διάβρωση σε εξαιρετικά νερό (18 MΩ · cm αντίσταση) .

 

Πώς αποτρέπουν τις θεραπείες επιφάνειας;
Η ηλεκτροκατοικία αφαιρεί 10-15 μm στρώμα εργασίας που έχει υποστεί βλάβη στο εργοστάσιο . σοκ με λέιζερ προκαλεί συμπιεστική τάση για τη μείωση της μετανάστευσης ιόντων . ανοσοποίηση υδρογόνου μειώνει την επιφανειακή ενέργεια για να περιορίσει την προσκόλληση των σωματιδίων.

 

Κρίσιμες ανοχές για συστήματα παράδοσης αερίου;
Εσωτερική επιφάνεια RA μικρότερη ή ίση με 0 . 13μm. Ρυθμός διαρροής<1×10⁻⁹ mbar·L/s helium. Outgassing rate <5×10⁻¹¹ torr·L/s·cm². Particulate count: ≤5 particles >0 . 1μm ανά γραμμικό πόδι.

 

Δοκιμές επικύρωσης για εξαρτήματα καθαρού χώρου;
Ανάλυση SEM-EDS για χαρτογράφηση συμπερίληψης . ICP-MS για έκπλυση μεταλλικών ιόντων (NA⁺<50ppb, Fe⁺⁺ <10ppb). Vapor phase decomposition for surface metallic contamination.